产品介绍：

低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一；低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
产品特点：
1、极高真空度，本系列低温泵均可达到10-7 Pa的极高真空度，最高可达10-9 Pa极限真空度。 2无油无污染，利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空 。 3气体抽速大，气体抽速大，排气速度快。 4运行费用低，只需电力和冷却水保障，无需液氮等低温液体，操作简单，性价比高。 5可靠性高， 无运动部件，低速运行，寿命长；外界干扰和系统内微粒不影响低温泵工作。 6安装友好，可以安装在任何方位。 应用领域：
适合应用于希望获得10-1Pa至10-9Pa真空度的场合，尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合，例如：真空排气设备、溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、电子束设备、空间模拟装置、高能物理研究装置、加速器束流管、表面分析装置、其它高真空或超高真空装置